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案例展示

發(fā)布時間：2025-06-04 瀏覽：795次

半導(dǎo)體設(shè)備

等截面薄壁軸承在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域扮演著至關(guān)重要的角色，因?yàn)樗鼈兤鹾狭嗽撔袠I(yè)對超高精度、極端潔凈度、緊湊空間利用、低振動/低噪音和剛度的核心需求。以下是它們在半導(dǎo)體設(shè)備中的關(guān)鍵應(yīng)用點(diǎn)：

應(yīng)用點(diǎn)：機(jī)械手（SCARA、六軸機(jī)器人）、晶圓傳輸模塊、裝載端口、預(yù)對準(zhǔn)器。
作用：為機(jī)器人的關(guān)節(jié)、旋轉(zhuǎn)軸和直線運(yùn)動軸提供支撐。薄壁設(shè)計(jì)允許在有限空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)多軸運(yùn)動，高精度確保晶圓取放、定位和對準(zhǔn)的準(zhǔn)確性（微米甚至亞微米級），低振動防止晶圓損傷，高剛度保證重復(fù)定位精度。

應(yīng)用點(diǎn)：晶圓臺（XY 運(yùn)動平臺）、掩模版臺（Reticle Stage）、鏡頭調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)、內(nèi)部精密運(yùn)動機(jī)構(gòu)。
作用：支撐和引導(dǎo)承載晶圓或掩模版的高速、高加速度、超高精度運(yùn)動平臺。等截面薄壁軸承提供極高的剛度和運(yùn)動精度（納米級），是保證光刻分辨率（線寬）的關(guān)鍵因素之一。其低振動特性對防止成像模糊至關(guān)重要。緊湊設(shè)計(jì)有助于減小設(shè)備體積和重量。

應(yīng)用點(diǎn)：晶圓缺陷檢測設(shè)備、套刻精度測量設(shè)備、膜厚測量設(shè)備、形貌測量設(shè)備（探針臺）。
作用：支撐傳感器（如光學(xué)頭、電子束探頭、探針卡）的精密掃描運(yùn)動平臺或旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。需要軸承提供無爬行、無滯后的平滑運(yùn)動，以及極高的直線度和角度精度，以確保測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。低振動和低噪音也是避免干擾精密測量的關(guān)鍵。

應(yīng)用點(diǎn)：貼片機(jī)（Die Bonder）、引線鍵合機(jī)（Wire Bonder）、倒裝芯片鍵合機(jī)（Flip Chip Bonder）、測試分選機(jī)（Handler）。
作用：在封裝過程中，支撐高速、高精度的取放頭（Pick-and-Place Head）、鍵合頭（Bond Head）的旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動。需要軸承提供高剛度以承受工作載荷（如鍵合壓力），同時保持微米級的定位精度。在測試分選機(jī)中，用于高速分選機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)和分度。

應(yīng)用點(diǎn)：物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、刻蝕等工藝設(shè)備的內(nèi)部基片臺、傳送臂、擋板驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
作用：在真空或特殊氣氛環(huán)境中，提供可靠、低放氣、耐腐蝕的旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動支撐。薄壁軸承的緊湊設(shè)計(jì)有助于減小腔體體積，其材料和潤滑選擇需滿足真空兼容性要求（極低釋氣、耐高溫烘烤）。

為什么等截面薄壁軸承特別適合半導(dǎo)體領(lǐng)域？

超高精度：精密制造和預(yù)緊技術(shù)使其能實(shí)現(xiàn)極低的旋轉(zhuǎn)跳動（徑向和軸向跳動），滿足納米級定位需求。
高剛度：優(yōu)化的截面設(shè)計(jì)和材料選擇使其在緊湊尺寸下具有很高的徑向和軸向剛度，抵抗變形能力強(qiáng)，保證運(yùn)動平臺的穩(wěn)定性。
緊湊輕量：等截面薄壁設(shè)計(jì)顯著減小了軸承的徑向尺寸和重量，非常適合空間極其受限的半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部。
低振動/低噪音：精密滾道加工、滾動體（常為陶瓷球）和優(yōu)化的預(yù)緊力，有效降低了運(yùn)行時的振動和噪音，對精密加工和測量至關(guān)重要。
潔凈度：可選擇特殊密封（低摩擦、低釋氣）或開式設(shè)計(jì)配合真空/潔凈環(huán)境，并使用特殊潤滑脂（低揮發(fā)、低遷移、長壽命）或干式潤滑（如固體潤滑涂層），避免污染敏感的半導(dǎo)體工藝環(huán)境。
設(shè)計(jì)靈活性：等截面設(shè)計(jì)便于多個軸承并列安裝或串聯(lián)安裝，輕松構(gòu)建高剛度的多支撐軸系。
高速性能：優(yōu)化設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)較高的轉(zhuǎn)速，滿足高速自動化生產(chǎn)的需求。

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